দর্শন: 0 লেখক: সাইট সম্পাদক প্রকাশের সময়: 2023-07-06 উত্স: সাইট
আয়ন ইমপ্লান্টেশন সিলিকন কার্বাইডের একটি কৌশল যা সিলিকন কার্বাইড উপাদানগুলিতে নির্দিষ্ট অপরিষ্কার পরমাণু প্রবর্তনের জন্য ব্যবহৃত হয় in ইন ইমপ্লান্টেশন সাধারণত উচ্চ-শক্তি আয়ন বিমের মাধ্যমে সিলিকন কার্বাইড স্ফটিকগুলিতে কাঙ্ক্ষিত ডোপান্টগুলি ইমপ্লান্ট করে।
আয়ন ইমপ্লান্টেশন প্রক্রিয়াটিতে নিম্নলিখিত পদক্ষেপগুলি অন্তর্ভুক্ত রয়েছে:
1। রোপনের জন্য লক্ষ্য অপরিষ্কার পরমাণু নির্বাচন করুন, সাধারণত বোরন (বি), নাইট্রোজেন (এন) বা ফসফরাস (পি) ইত্যাদি etc.
2। আয়ন ইমপ্লান্টেশন প্রক্রিয়া সমর্থন এবং সুরক্ষার জন্য এসআইসি সাবস্ট্রেট এবং ফিল্ম প্রস্তুত করুন।
3 .. সিলিকন কার্বাইড উপাদানগুলিতে একটি উচ্চ-শক্তি আয়ন মরীচি প্রবর্তন করতে একটি আয়ন ইমপ্ল্যান্টার ব্যবহার করুন। আয়নগুলির একটি মরীচি ঝিল্লির মধ্য দিয়ে যায় এবং সিলিকন কার্বাইড স্ফটিকের মধ্যে রোপন করা হয়।
4। রোপন শেষ হওয়ার পরে, অন্যান্য প্রক্রিয়া পদক্ষেপ যেমন অ্যানিলিং, পরিষ্কার করা এবং ইলেক্ট্রোড গঠনের মতো আয়ন-ইমপ্লান্টেড উপাদানকে একটি কার্যকরী ডিভাইসে রূপান্তর করতে ব্যবহৃত হয়।
নির্বাচনী ডোপিং প্রযুক্তি আয়ন ইমপ্লান্টেশন প্রক্রিয়া নিয়ন্ত্রণের একটি পদ্ধতি। এটি উত্পাদন প্রক্রিয়া চলাকালীন আয়ন ইমপ্লান্টেশন অঞ্চলটি যথাযথভাবে সংজ্ঞায়িত ও নিয়ন্ত্রণ করতে ফটোলিথোগ্রাফি এবং ফিল্ম প্রযুক্তি ব্যবহার করে। মুখোশগুলি নির্দিষ্ট অঞ্চলে ফোটোরিস্ট প্রয়োগ করে এবং এক্সপোজার এবং বিকাশের মতো পদক্ষেপগুলি সম্পাদন করে লক্ষ্যযুক্ত অঞ্চলে তৈরি করা হয়। এই মুখোশটি আয়নগুলিকে সুরক্ষিত অঞ্চলগুলি থেকে উপাদানগুলিতে প্রবেশ করতে বাধা দেয়, নির্বাচনী ডোপিং সক্ষম করে। সিলিকন কার্বাইড উপকরণগুলিতে নির্দিষ্ট ডোপড অঞ্চলগুলি তৈরি করতে নির্বাচনী ডোপিং কৌশলগুলি ব্যবহার করা যেতে পারে, যার ফলে উপাদানের বৈদ্যুতিন বৈশিষ্ট্য এবং ডিভাইসের কার্যকারিতা অনুকূল করে।
সব মিলিয়ে সিলিকন কার্বাইডের আয়ন ইমপ্লান্টেশন এমন একটি প্রযুক্তি যা উপাদানগুলিতে নির্দিষ্ট অপরিষ্কার পরমাণু প্রবর্তন করে এবং নির্বাচনী ডোপিং প্রযুক্তি আয়ন রোপন প্রক্রিয়া নিয়ন্ত্রণ করার একটি পদ্ধতি। সিলিকন কার্বাইড উপকরণগুলির কার্যকারিতা অনুকূলকরণের জন্য মাস্ক প্রযুক্তির মাধ্যমে একটি নির্দিষ্ট অঞ্চলে ডোপিং অর্জন করা হয়।
