அயன் பொருத்துதல் சிலிக்கான் கார்பைட்டின் என்பது சிலிக்கான் கார்பைடு பொருட்களில் குறிப்பிட்ட தூய்மையற்ற அணுக்களை அறிமுகப்படுத்தப் பயன்படுத்தப்படும் ஒரு நுட்பமாகும்.இன் பொருத்துதல் பொதுவாக விரும்பிய டோபண்டுகளை சிலிக்கான் கார்பைடு படிகங்களில் அதிக ஆற்றல் கொண்ட அயன் கற்றை மூலம் பொருத்துகிறது.
அயன் உள்வைப்பு செயல்முறை பின்வரும் படிகளை உள்ளடக்கியது:
1. பொருத்தப்பட வேண்டிய இலக்கு தூய்மையற்ற அணுக்களைத் தேர்ந்தெடுக்கவும், பொதுவாக போரான் (பி), நைட்ரஜன் (என்) அல்லது பாஸ்பரஸ் (பி) போன்றவை.
2. அயன் பொருத்துதல் செயல்முறையை ஆதரிக்கவும் பாதுகாக்கவும் SIC அடி மூலக்கூறு மற்றும் திரைப்படத்தைத் தயாரிக்கவும்.
3. சிலிக்கான் கார்பைடு பொருளில் உயர் ஆற்றல் கொண்ட அயன் கற்றை அறிமுகப்படுத்த அயன் உள்வைப்பைப் பயன்படுத்தவும். அயனிகளின் ஒரு கற்றை சவ்வு வழியாகச் சென்று சிலிக்கான் கார்பைடு படிகத்தில் பொருத்தப்படுகிறது.
4. உள்வைப்பு முடிந்ததும், அயன்-பொருத்தப்பட்ட பொருளை செயல்பாட்டு சாதனமாக மாற்ற அனீலிங், சுத்தம் மற்றும் எலக்ட்ரோடு உருவாக்கம் போன்ற பிற செயல்முறை படிகள் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.
தேர்ந்தெடுக்கப்பட்ட ஊக்கமருந்து தொழில்நுட்பம் என்பது அயன் உள்வைப்பு செயல்முறையை கட்டுப்படுத்தும் ஒரு முறையாகும். உற்பத்தி செயல்பாட்டின் போது அயன் உள்வைப்பு பகுதியை துல்லியமாக வரையறுக்கவும் கட்டுப்படுத்தவும் இது ஒளிச்சேர்க்கை மற்றும் திரைப்பட தொழில்நுட்பத்தைப் பயன்படுத்துகிறது. குறிப்பிட்ட பகுதிகளுக்கு ஒளிச்சேர்க்கையாளரைப் பயன்படுத்துவதன் மூலமும், வெளிப்பாடு மற்றும் மேம்பாடு போன்ற படிகளைச் செய்வதன் மூலமும் இலக்கு பகுதிகளில் முகமூடிகள் உருவாக்கப்படுகின்றன. இந்த முகமூடி அயனிகள் பாதுகாக்கப்பட்ட பகுதிகளிலிருந்து பொருளுக்குள் நுழைவதைத் தடுக்கிறது, தேர்ந்தெடுக்கப்பட்ட ஊக்கமருந்து உதவுகிறது. சிலிக்கான் கார்பைடு பொருட்களில் குறிப்பிட்ட அளவிலான பகுதிகளை உருவாக்க தேர்ந்தெடுக்கப்பட்ட ஊக்கமருந்து நுட்பங்களைப் பயன்படுத்தலாம், இதன் மூலம் பொருளின் மின்னணு பண்புகள் மற்றும் சாதன செயல்திறனை மேம்படுத்துகிறது.
மொத்தத்தில், சிலிக்கான் கார்பைட்டின் அயனி பொருத்துதல் என்பது குறிப்பிட்ட தூய்மையற்ற அணுக்களை பொருளில் அறிமுகப்படுத்தும் ஒரு தொழில்நுட்பமாகும், மேலும் தேர்ந்தெடுக்கப்பட்ட ஊக்கமருந்து தொழில்நுட்பம் அயன் உள்வைப்பு செயல்முறையை கட்டுப்படுத்தும் ஒரு முறையாகும். சிலிக்கான் கார்பைடு பொருட்களின் செயல்திறனை மேம்படுத்துவதை அடைய மாஸ்க் தொழில்நுட்பத்தின் மூலம் ஒரு குறிப்பிட்ட பகுதியில் ஊக்கமருந்து அடையப்படுகிறது.