מהי השתלת יונים של קרביד סיליקון?

השתלת יונים של סיליקון קרביד היא טכניקה המשמשת להכנסת אטומי טומאה ספציפיים בחומרי סיליקון קרביד. השתלת יוני בדרך כלל משתלה סופרים רצויים לגבישי סיליקון קרביד באמצעות קרן יון אנרגטית גבוהה.

 

 

 

 

 

 

תהליך השתלת היונים כולל את הצעדים הבאים:

1. בחר את אטומי הטומאה למטרה שיש להושתל, בדרך כלל בורון (B), חנקן (N) או זרחן (P) וכו '.

2. הכינו את המצע והסרט של SIC כדי לתמוך ולהגן על תהליך השתלת היונים.

3. השתמש במנזר יון כדי להכניס קרן יונים אנרגטית גבוהה לחומר הסיליקון קרביד. קרן יונים עוברת דרך הממברנה ומושתלת בקריסטל הסיליקון קרביד.

4. לאחר סיום ההשתלה, משתמשים בשלבי תהליכים אחרים כמו חישול, ניקוי והיווצרות אלקטרודות להמרת חומר המופעל על ידי יונים למכשיר פונקציונלי.

 

טכנולוגיית סמים סלקטיבית היא שיטה לשליטה בתהליך השתלת היונים. היא משתמשת בפוטוליטוגרפיה וטכנולוגיית סרטים כדי להגדיר ולשלוט במדויק על תחום השתלת היונים בתהליך הייצור. מסכות נוצרות באזורים ממוקדים על ידי יישום פוטורסיסט על אזורים ספציפיים וביצוע שלבים כמו חשיפה ופיתוח. מסכה זו מונעת מכניסת יונים לחומר מהאזורים המוגנים, מה שמאפשר סמים סלקטיביים. ניתן להשתמש בטכניקות סמים סלקטיביות ליצירת אזורים מסוממים ספציפיים בחומרי סיליקון קרביד, ובכך לייעל את המאפיינים האלקטרוניים של החומר וביצועי המכשיר.

בסך הכל, השתלת היונים של סיליקון קרביד היא טכנולוגיה המציגה אטומי טומאה ספציפיים לחומר, וטכנולוגיית הסמים הסלקטיבית היא שיטה לשליטה על תהליך השתלת היונים. סמים מושגת באזור ספציפי באמצעות טכנולוגיית מסכות כדי להשיג אופטימיזציה של הביצועים של חומרי סיליקון קרביד.