ما هو أيون زرع كربيد السيليكون؟

إن زرع أيون من كربيد السيليكون هو تقنية تستخدم لإدخال ذرات شوائب محددة في مواد كربيد السيليكون. يزرع التزرع عادة المنشطات المرغوبة في بلورات كربيد السيليكون عن طريق شعاع أيون عالي الطاقة.

 

 

 

 

 

 

تتضمن عملية زراعة الأيونات الخطوات التالية:

1. حدد ذرات الشوائب المستهدفة المراد زرعها ، وعادة ما يكون البورون (ب) أو النيتروجين (N) أو الفوسفور (P) ، إلخ.

2. قم بإعداد الركيزة والفيلم SIC لدعم وحماية عملية زرع الأيونات.

3. استخدم أيون أيون لإدخال شعاع أيون عالي الطاقة في مادة كربيد السيليكون. تمر شعاع الأيونات عبر الغشاء ويتم زرعه في بلورة كربيد السيليكون.

4. بعد اكتمال عملية الزرع ، يتم استخدام خطوات عملية أخرى مثل الصلب والتنظيف وتشكيل الإلكترود لتحويل المواد المزروعة بأيون إلى جهاز وظيفي.

 

تقنية المنشطات الانتقائية هي وسيلة للتحكم في عملية زرع الأيونات. تستخدم التصوير الفوتوغرافي الضوئي وتكنولوجيا الأفلام لتحديد منطقة زراعة الأيونات والتحكم فيها بدقة أثناء عملية التصنيع. يتم إنشاء الأقنعة في المناطق المستهدفة من خلال تطبيق مقاوم الضوء على مناطق محددة وخطوات أداء مثل التعرض والتطوير. يمنع هذا القناع الأيونات من دخول المواد من المناطق المحمية ، مما يتيح المنشطات الانتقائية. يمكن استخدام تقنيات المنشطات الانتقائية لإنشاء مناطق مخدر محددة في مواد كربيد السيليكون ، وبالتالي تحسين الخصائص الإلكترونية للمواد وأداء الجهاز.

وبشكل عام ، فإن زرع أيون كربيد السيليكون هو تقنية تقدم ذرات شوائب محددة في المادة ، وتقنية المنشطات الانتقائية هي وسيلة للتحكم في عملية زرع أيون. يتم تحقيق المنشطات في منطقة معينة من خلال تقنية القناع لتحقيق تحسين أداء مواد كربيد السيليكون.