Προβολές: 0 Συγγραφέας: Επεξεργαστής ιστότοπου Χρόνος δημοσίευσης: 2023-07-06 Προέλευση: Τοποθεσία
Η εμφύτευση ιόντων του καρβιδίου πυριτίου είναι μια τεχνική που χρησιμοποιείται για την εισαγωγή συγκεκριμένων ατόμων ακαθαρσίας σε υλικά καρβιδίου πυριτίου.
Η διαδικασία εμφύτευσης ιόντων περιλαμβάνει τα παρακάτω βήματα:
1. Επιλέξτε τα άτομα της ακαθαρσίας στόχου που πρόκειται να εμφυτευτούν, συνήθως βόριο (b), άζωτο (n) ή φωσφόρο (p) κ.λπ.
2. Προετοιμάστε το υπόστρωμα SIC και το φιλμ για να υποστηρίξετε και να προστατεύσετε τη διαδικασία εμφύτευσης ιόντων.
3. Χρησιμοποιήστε ένα ιόν που εκτοξεύστε για να εισαγάγετε μια δέσμη ιόντων υψηλής ενέργειας στο υλικό καρβιδίου πυριτίου. Μια δέσμη ιόντων διέρχεται από τη μεμβράνη και εμφυτεύεται στον κρύσταλλο καρβιδίου πυριτίου.
4. Αφού ολοκληρωθεί η εμφύτευση, άλλα βήματα διεργασίας, όπως η ανόπτηση, ο καθαρισμός και ο σχηματισμός ηλεκτροδίων χρησιμοποιούνται για τη μετατροπή του υλικού που εμφυτεύεται από ιόντα σε λειτουργική συσκευή.
Η επιλεκτική τεχνολογία ντόπινγκ είναι μια μέθοδος ελέγχου της διαδικασίας εμφύτευσης ιόντων. Χρησιμοποιεί τη φωτολιθογραφία και την τεχνολογία φιλμ για τον με ακρίβεια και τον έλεγχο της περιοχής εμφύτευσης ιόντων κατά τη διάρκεια της διαδικασίας παραγωγής. Οι μάσκες δημιουργούνται σε στοχοθετημένες περιοχές εφαρμόζοντας φωτοανθεραπεία σε συγκεκριμένες περιοχές και εκτέλεση βημάτων όπως η έκθεση και η ανάπτυξη. Αυτή η μάσκα εμποδίζει την είσοδο των ιόντων στο υλικό από τις προστατευόμενες περιοχές, επιτρέποντας το επιλεκτικό ντόπινγκ. Οι επιλεκτικές τεχνικές ντόπινγκ μπορούν να χρησιμοποιηθούν για τη δημιουργία συγκεκριμένων περιοχών με ντόπιου σε υλικά καρβιδίου πυριτίου, βελτιστοποιώντας έτσι τις ηλεκτρονικές ιδιότητες του υλικού και την απόδοση της συσκευής.
Συνολικά, η εμφύτευση ιόντων του καρβιδίου πυριτίου είναι μια τεχνολογία που εισάγει συγκεκριμένα άτομα ακαθαρσίας στο υλικό και η επιλεκτική τεχνολογία ντόπινγκ είναι μια μέθοδος ελέγχου της διαδικασίας εμφύτευσης ιόντων. Το ντόπινγκ επιτυγχάνεται σε μια συγκεκριμένη περιοχή μέσω της τεχνολογίας μάσκας για την επίτευξη της βελτιστοποίησης της απόδοσης των υλικών καρβιδίου πυριτίου.
