Үзэлт: 0 Зохиогч: Сайтын редактор Нийтлэх хугацаа: 2023-07-06 гарал үүсэл: Энэ газар
суулгац Силикон Карбидын нь Силикон Карбидын материалын тодорхой атомыг нэвтрүүлэхэд ашигладаг техник юм.
Ион суулгацын үйл явц нь дараахь алхамуудыг агуулдаг.
1. Зорилтот атомыг суулгацаар нь суулгацаар сонгоорой. Ихэвчлэн Борд (B), нитроген (n) эсвэл фосфор (P) эсвэл фосфорус (P).
2. SIC субстрат, кино бэлтгэх, хамгаалах зорилгоор ion суулгана.
3. Силикон Карбидын материалд өндөр эрчим хүчний ионы цацрагийг нэвтрүүлэхийн тулд ион импкантер ашиглана уу. Ионын туяа нь мембран дамжин өнгөрч, силикон Карбидын Carbide-д суулгадаг.
4. Суулгац дууссаны дараа ангижрах, цэвэрлэх, цэвэрлэх, электрозын хэлбэрүүд нь ион суулгацын фактональ төхөөрөмжийг хувиргахад ашигладаг.
Сонгон даргын технологи гэдэг нь im суулганы процессыг хянах арга юм. Үйлдвэрлэлийн явцад INOCTORTORE болон CORESTORE болон CORTATEOTION-ийг хэрэгжүүлж, практизийн явцыг тодорхойлж, Коллежийн технологийг боловсруулж, практик үйл явцыг тодорхойлдог. Маскуудыг зураглал, хувьцаа, хөгжлийн бэрхшээлтэй, хөгжлийн үе гэх мэт алхамуудыг гүйцэтгэх замаар зорилтот хэсэгт бий болгодог. Энэ маск нь сонгосон газраас материаллаг газруудаас материаллаг газраас орохоос сэргийлдэг. Сонгосон допингийн допинкийг силикон Карбидын материал үүсгэхэд ашиглаж болно. Материалын цахим шинж чанар, төхөөрөмжийн гүйцэтгэлийг оновчтой болгоход ашиглаж болно.
Бүгдээрээ цахиурын карбидын им суулгаар нь материаллаг атомыг илтгэдэг технологи бөгөөд сонгон шалгаруулалтад зориулагдсан технологи нь ion-ийн допинг технологи юм. Допинг нь цахиурын карбидын гүйцэтгэлийг оновчтой болгохын тулд маск технологийн чиглэлээр тодорхой газар нутагт үр дүнтэй байдаг.
