کا آئن ایمپلانٹیشن سلیکن کاربائڈ ایک ایسی تکنیک ہے جو سلیکن کاربائڈ مواد میں مخصوص ناپاک ایٹموں کو متعارف کرانے کے لئے استعمال کی جاتی ہے۔ آئن امپلانٹیشن عام طور پر مطلوبہ ڈوپینٹ کو سلیکن کاربائڈ کرسٹل میں ایک اعلی توانائی کے آئن بیم کے ذریعہ ایمپلانٹ کرتی ہے۔
آئن امپلانٹیشن کے عمل میں درج ذیل اقدامات شامل ہیں:
1. ایمپلانٹ ہونے کے لئے ہدف ناپاکی جوہریوں کا انتخاب کریں ، عام طور پر بوران (بی) ، نائٹروجن (این) یا فاسفورس (پی) ، وغیرہ۔
2. آئن امپلانٹیشن کے عمل کی تائید اور حفاظت کے لئے ایس آئی سی سبسٹریٹ اور فلم تیار کریں۔
3. سلیکن کاربائڈ میٹریل میں اعلی توانائی والے آئن بیم کو متعارف کرانے کے لئے آئن ایمپلانٹر کا استعمال کریں۔ آئنوں کا ایک شہتیر جھلی سے گزرتا ہے اور اسے سلیکن کاربائڈ کرسٹل میں لگایا جاتا ہے۔
4. ایمپلانٹیشن مکمل ہونے کے بعد ، عمل کے دیگر اقدامات جیسے انیلنگ ، صفائی ، اور الیکٹروڈ کی تشکیل آئن سے متاثرہ مواد کو فنکشنل ڈیوائس میں تبدیل کرنے کے لئے استعمال کی جاتی ہے۔
سلیکٹیو ڈوپنگ ٹکنالوجی آئن امپلانٹیشن کے عمل کو کنٹرول کرنے کا ایک طریقہ ہے۔ یہ مینوفیکچرنگ کے عمل کے دوران آئن امپلانٹیشن ایریا کی واضح طور پر وضاحت اور ان پر قابو پانے کے لئے فوٹوولیتھوگرافی اور فلمی ٹکنالوجی کا استعمال کرتا ہے۔ ماسک مخصوص علاقوں میں فوٹوورسٹسٹ کا اطلاق کرکے اور نمائش اور ترقی جیسے اقدامات انجام دے کر ٹارگٹڈ علاقوں میں بنائے جاتے ہیں۔ یہ ماسک آئنوں کو محفوظ علاقوں سے مواد میں داخل ہونے ، منتخب ڈوپنگ کو چالو کرنے سے روکتا ہے۔ سلیکن کاربائڈ میٹریلز میں مخصوص ڈوپڈ خطے بنانے کے لئے منتخب ڈوپنگ تکنیک کا استعمال کیا جاسکتا ہے ، اس طرح مواد کی الیکٹرانک خصوصیات اور آلہ کی کارکردگی کو بہتر بناتا ہے۔
سب کے سب ، سلیکن کاربائڈ کا آئن ایمپلانٹیشن ایک ایسی ٹکنالوجی ہے جو مادے میں مخصوص ناپاک ایٹموں کو متعارف کراتی ہے ، اور منتخب ڈوپنگ ٹکنالوجی آئن امپلانٹیشن کے عمل کو کنٹرول کرنے کا ایک طریقہ ہے۔ سلیکن کاربائڈ مواد کی کارکردگی کو بہتر بنانے کے لئے ماسک ٹکنالوجی کے ذریعہ ایک مخصوص علاقے میں ڈوپنگ حاصل کی جاتی ہے۔