WIDZIA: 0 Autor: Edytor witryny Publikuj Czas: 2023-07-06 Pochodzenie: Strona
Implantacja jonowa węgliku krzemowego jest techniką stosowaną do wprowadzania specyficznych atomów zanieczyszczeń w materiałach węgla krzemu. Implantacja w środowisku zazwyczaj implantuje pożądane domieszki do kryształów węgla krzemu za pomocą wiązki jonów o wysokiej energii.
Proces implantacji jonów obejmuje następujące kroki:
1. Wybierz docelowe atomy zanieczyszczenia do wszczepienia, zwykle boru (B), azot (N) lub fosfor (P) itp.
2. Przygotuj podłoże SIC i film do wsparcia i ochrony procesu implantacji jonów.
3. Użyj implantera jonowego, aby wprowadzić wiązkę jonową o wysokiej energii do materiału węgla krzemu. Wiązka jonów przechodzi przez membranę i jest wszczepiana do kryształu węgla krzemu.
4. Po zakończeniu implantacji inne etapy procesu, takie jak wyżarzanie, czyszczenie i tworzenie elektrod, są używane do konwersji materiału zaimplanowanego jonowego na urządzenie funkcjonalne.
Technologia selektywnego dopingu jest metodą kontrolowania procesu implantacji jonowej. Wykorzystuje technologię fotolitograficzną i filmową do precyzyjnego zdefiniowania i kontrolowania obszaru implantacji jonowej podczas procesu produkcyjnego. Maski są tworzone w obszarach ukierunkowanych poprzez zastosowanie fotorezystów do określonych obszarów i wykonując takie etapy, jak ekspozycja i rozwój. Ta maska zapobiega wejściu jonów do materiału z obszarów chronionych, umożliwiając selektywne domieszkowanie. Do tworzenia określonych regionów domieszkowanych w materiałach z węglików krzemowych można zastosować selektywne techniki domieszkowania, optymalizując w ten sposób właściwości elektroniczne i wydajność urządzenia.
Podsumowując, implantacja jonowa węgliku krzemowego jest technologią, która wprowadza specyficzne atomy zanieczyszczeń do materiału, a technologia selektywnego dopingu jest metodą kontrolowania procesu implantacji jonów. Doping osiąga się w określonym obszarze poprzez technologię maski, aby osiągnąć optymalizację wydajności materiałów z węglika krzemu.
